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項目

規範

執行機構

 

位移測量

電容式儀表

位移範圍

80um

位移分辨率

0.04nm

典型的噪音

<0.1nm

加載應用程序

線圈/磁鐵

最大負載

1000mN

加載分辨率

6nN

硬度計壓強剛度

80N/m

阻尼係數

0.05N-s/m

共振頻率

120Hz

彙率

<0,05nm/s

 

 

控製器

 

數據采集速率

1000Hz

CPU控製速率


500Hz

時間常數

20us或更高

動態激勵頻率

0.1Hz-0.1kHz


電磁製動器適用於包括IMicro在內的納米力學公司生產的所有係統|__上海哪有蹦极;
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